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晶瑞电材:KrF高端光刻胶部分品种已量产
更新时间:2023-03-14 10:00:28

  晶瑞电材在互动表示,公司子公司瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司的KrF光刻胶产品分辨率达到了0.25-0.13μm的技术要求,已通过部分重要客户测试,KrF高端光刻胶部分品种已量产。