半导体设备板块今日表现强势，中科飞测涨超6%，至纯科技、中晶科技、神工股份涨超3%。截至收盘，上证科创板50成份指数上涨0.2%，中证芯片产业指数上涨0.04%，中证半导体材料设备主题指数上涨1.6%，国证信息技术创新主题指数下跌0.5%。