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仕佳光子：高精度光刻机主要是采用紫外和深紫外光源，公司目前主
更新时间：2023-02-06 18:47:12
仕佳光子2月1日在投资者互动平台表示，高精度光刻机主要是采用紫外和深紫外光源，公司目前主要开发红外波长的芯片和器件。
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