近日，有投资者通过互动易向英诺激光提问，看到上海微电子官微发布，上海微电子28nm精度光刻机已经通过技术认证，并在光源技术方面与英诺激光展开合作，是否属实？对此，英诺激光回复，公司在半导体领域与国外客户开展了深度合作，并已批量供应了应用于碳化硅退火制程的激光器，积累了丰富的行业经验。英诺激光时刻关注国内半导体行业发展趋势，已在硅晶圆前道检测环节开展合作。